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全自動(dòng)傳片機(jī)

全自動(dòng)傳片機(jī)是針對晶圓的全自動(dòng)倒片、理片機(jī);可從一個(gè)Wafer Cassette傳遞到另外一個(gè)Wafer Cassette,通過參數(shù)設(shè)定可實(shí)現(xiàn)Up Ranking、down Ranking及自定義方式傳遞,采用X、Y、Z  三軸機(jī)械走位及陶瓷手柄實(shí)現(xiàn)高精度定位,確保產(chǎn)品在傳遞過程的安全。設(shè)備可適用12寸8寸晶圓及各種標(biāo)準(zhǔn)料盒,也可訂制非標(biāo)料盒,設(shè)備采用工控機(jī)控制,15寸觸摸操作人機(jī)界面,操作簡易方便。

產(chǎn)品詳情

技術(shù)參數(shù):

未標(biāo)題-5-01.jpg


產(chǎn)品特點(diǎn):

陶瓷Robot取放產(chǎn)品;

X,Y,Z三軸機(jī)械手精準(zhǔn)定位;

支持各種半導(dǎo)體標(biāo)準(zhǔn)Wafer Cassette,自動(dòng)Mapping掃描;

工控機(jī)控制,運(yùn)行穩(wěn)定;

15寸觸摸屏顯示操作,方便簡潔;

參數(shù)可自由設(shè)定調(diào)用;

傳片方式有Up Ranking,down Ranking模式也可自定義模式;

固定式或手柄式Bar Code Reader讀取料盒條形碼;

可配置去離子裝置;

可訂制Sec Gem功能;

Uph>100片/小時(shí)(不含定位功能)。


注:圖文數(shù)據(jù)均以廠家提供為準(zhǔn)。

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